产品系列

UHP 超高纯束缚膜片减压阀 (压力高达 250 psig) – SMSQ2Micro系列

SMSQ2Micro 减压阀用于狭小空间需要精确压力控制的UHP超高纯使用点应用。提供优秀的可靠性和泄露完整性,使其成为关键的半导体操作的理想选择。

UHP 超高纯束缚膜片减压阀 (压力高达 250 psig) – SMSQ2Micro系列
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SERIES OVERVIEW

UHP 超高纯束缚膜片减压阀 (压力高达 250 psig) – SMSQ2Micro系列

SMSQ2Micro 减压阀用于狭小空间需要精确压力控制的UHP超高纯使用点应用。提供优秀的可靠性和泄露完整性,使其成为关键的半导体操作的理想选择。

系列编号
所属技术
仪器仪表
产品记录
1
图片与资料
9

系列介绍

产品能力与选型说明

$19

SELECTION PATH

从工况到型号,一步步缩小选择范围

结合现场参数、安装边界和交付要求,确认适合的系列与型号。

01

明确应用工况

整理介质、压力、温度、速度与使用环境等基础条件。

02

确认安装边界

核对空间、接口、连接方式与现有系统的兼容性。

03

匹配技术参数

结合性能、材料、寿命与合规要求进行综合比较。

04

确认型号与交付

核对完整型号、数量、资料和交期,形成可执行方案。

技术参数

关键规格一览

阀体材料洁净316L不锈钢
压缩构件材料洁净316L不锈钢
隔膜材料哈氏合金 C-22
阀芯材料哈氏合金 C-22
阀座材料PCTFE
帽材料铜镀镍
螺母材料不锈钢
旋钮材料ABS (蓝) (SMSQ2Micro)<br/>ABS (黑) (SMSQ2Micro130E), ABS (Black) (SMSQ2Micro130E)
爆破压力750 psig (52 barg)
可承受压力375 psig (26 barg)
流速Cv: 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)
内部泄漏率< 5 x 10-8 cc/sec He
外部泄漏率< 2 x 10-10 cc/sec He
体积0.08 cm3
重量0.9 lb, 0.42 kg
表面处理5微英寸粗糙度
最大入口额定压力250 psig / 17 barg
出口额定压力-10 psig - 60 psig (260 torr - 4.1 barg)
最高运行温度66 °C, 150 °F
最低运行温度-40 °C, -40 °F

具体产品

型号与订货号

1 条产品记录。独立型号尚未确认的产品可按订货号查询。

产品名称型号 / 订货号资料

产品资料

图片、文档与 CAD

1 项资料。已归档文件可直接打开;仅有官网入口的资料会标注“官网链接”。

工程资源

样本、CAD 与选型支持

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