UHP 超高纯束缚膜片减压阀 (压力高达 250 psig) – SMSQ2Micro系列
SMSQ2Micro 减压阀用于狭小空间需要精确压力控制的UHP超高纯使用点应用。提供优秀的可靠性和泄露完整性，使其成为关键的半导体操作的理想选择。
阀体材料：洁净316L不锈钢 压缩构件材料：洁净316L不锈钢 隔膜材料：哈氏合金 C-22
产品分类
超高纯度调节阀
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PRODUCT SERIES
超高纯度调节阀产品系列
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PR400 Series Regulator
Regulator for pressure applications
最大入口额定压力：4000 psig 阀体材料：316L Stainless Steel 流量系数：0.06 Cv
FR1000 系列单级减压减压阀
FR1000 在半导体和其他清洁的天然气输送超高纯度的调节过程. 低到中等流量，这个系列的阀门在阀歧管箱，煤气柜，和其他半导体制造等行业非常广泛的应用.
流量系数：0.09, 0.15 Cv 最大入口额定压力：3500 psig 出口额定压力：出口压力1-30 psig, 2-60 psig, 2-100 psig, 5-150 psig, 1-10 psig psig, 2 to 60 psig, 2 to 100 psig, 5 to 150 psig, 1 to 10 psig
超净应用（UHP）-高流量不锈钢联动式单级的减压阀--FR1200系列
FR1200系列是单级的减压阀,入口压力高达1700 PSIG时提供高流量流通能力.大流量,联动式Hastelloy C-22®哈氏合金膜片提供强大的密封性能.隔膜的较大有效面积使该系列要求较低的弹簧弹力值.
出口额定压力：1 - 30 psig, 5 - 60 psig, 10 - 100 psig, 15 - 150 psig psig, 5 to 60 psig, 10 to 100 psig, 15 to 150 psig 入口额定压力：0 - 1700 , 0 - 300 psig, 0 to 300 psig 阀体材料：316L Stainless Steel, 316L Stainless Steel Double melt
FR1400 系列单级，大流量减压阀
FR1400 是高纯度的束缚隔膜，在半导体和其他洁净工艺中调节高压气体输送，可适应高流量。它是钢瓶或使用点散装和特殊气体应用的优良选择.
流量系数：0.5 Cv 最大入口额定压力：3000, 300 psig 出口额定压力：出口压力1-30 psig, 5-60 psig, 10-100 psig, 15-150 psig
PFA去离子水喷枪 - SG-1系列
PFA 去离子水喷枪适用于高纯半导体应用。该设计使用了具有精密加工密封区域的高纯 PFA 模塑成型的枪体。
配件类型：扩口式 阀体材料：PFA，PVDF，改良性PTFE 弹簧材料：不锈钢
UHP PTFE氟聚合物压力调节器(1 / 4英寸) – PR-1 系列
PR-1 系列PTFE减压阀提供高循环寿命和优异的耐腐蚀性。它的非卸荷设计需要通过阀门存在10 psi压差, 因此确保了腐蚀性流体应用中稳定的下游压力。
流体接触材料：PFA, 改性PTFE 非流体接触材料：ABS, 铜, 不锈钢, PVDF, 不锈钢弹簧, 铬钒模具弹簧, HDPE 最大运行压力：120 psig / 8.3 bar
UHP PTFE氟聚合物压力调节器(1 / 2英寸) – PR-08 系列
PR-08 系列PTFE减压阀用于超高纯和腐蚀性流体处理系统。它的非卸荷设计需要通过阀门存在5 psi压差，从而具有更好的衰减性和低滞后性。
阀体材料：PFA, 改性PTFE, PTFE, Polypro波利普罗聚丙烯纤维, PVDF 球材料：不锈钢 弹簧材料：不锈钢， PTFE涂层不锈钢
BR-1 1/4"聚四氟乙烯材料背压调节器
1 / 4“PTFE背压调节器是适用于高纯度半导体行业应用，也非常适合超纯水和腐蚀性的化学品使用。 该设计采用了PFA身体精密加工阀座。
流体接触材料：酚醛树脂胶, 改性聚四氟乙烯 非流体接触材料：ABS塑料，黄铜，不锈钢，聚偏氟乙稀，不锈钢弹簧， 铬钒模具弹簧 ，高密度聚乙烯 最大运行压力：120 psig / 8.3 bar
UHP PTFE氟聚合物背压调节器(1 / 2英寸)- BR-08 系列
BR-08 系列的背压调节器在没有裸露金属的情况下提高功能、改善性能。它是为高纯度流体处理应用设计的，包括超纯水、腐蚀性化学品和泥浆应用.
阀体材料：酚醛树脂胶，改性聚四氟乙烯，聚四氟乙烯，聚丙烯，聚偏氟乙烯 球材料：不锈钢 弹簧材料：不锈钢， 聚四氟乙烯涂层不锈钢
UHP Single Stage, High Flow, Pressure Reducing Regulator - FR1300 Series
The FR1300 is an ultra-high purity regulator for gas delivery in semiconductor and other clean processes. Capable of high flow, it is an excellent choice for cylinder or point of use bulk and specialty gas applications
流量系数：1.2 Cv 最大入口额定压力：600 psig 出口额定压力：1 to 30 psig, 5 to 60 psig, 10 to 100 psig, 15 to 150 psig