产品系列

超净应用(UHP)-高压不锈钢隔膜阀-945系列

派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀提供优良的泄漏完整性,高循环寿命,及低的粒子生成,从真空应用到3500 psig压力范围可用.适用于超高压半导体应用,包括高压工艺线、气体控制柜和阀门分配箱系统

超净应用(UHP)-高压不锈钢隔膜阀-945系列
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SERIES OVERVIEW

超净应用(UHP)-高压不锈钢隔膜阀-945系列

派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀提供优良的泄漏完整性,高循环寿命,及低的粒子生成,从真空应用到3500 psig压力范围可用.适用于超高压半导体应用,包括高压工艺线、气体控制柜和阀门分配箱系统

系列编号
所属技术
液压技术
产品记录
15
图片与资料
5

SELECTION PATH

从工况到型号,一步步缩小选择范围

结合现场参数、安装边界和交付要求,确认适合的系列与型号。

01

明确应用工况

整理介质、压力、温度、速度与使用环境等基础条件。

02

确认安装边界

核对空间、接口、连接方式与现有系统的兼容性。

03

匹配技术参数

结合性能、材料、寿命与合规要求进行综合比较。

04

确认型号与交付

核对完整型号、数量、资料和交期,形成可执行方案。

技术参数

关键规格一览

阀体材料VeriClean™ 316L不锈钢
压缩构件材料316L 不锈钢 (标准配置) 或哈氏合金 Hastelloy C-22®
隔膜材料Elgiloy® 或等效材质
阀座材料PCTFE (std), PEEK™ or Vespel®
帽材料17-4 Stainless Steel
螺母材料316L Stainless Steel
壳体材料阳极氧化铝
可承受压力5,250 psig (362 barg) (AOPHP, I, L, M, S)188 psig (13 barg) (G), 362 barg (AOPHP, I, L, M, S), 188 psig (G), 13 barg (G)
爆破压力10,500 psig (724 barg) (AOPHP, I, L, M, S)375 psig (26 barg) (G), 724 barg (AOPHP, I, L, M, S), 375 psig (G), 26 barg (G)
流速Cv 0.25 (AOP, G, S, I)Cv 0.18 (杆式手柄), Cv 0.18 (Lever)
内部泄漏率≤ 1 X 10-9 scc/sec He
外部泄漏率≤ 2 X 10-10 scc/sec He
表面处理5 micro inch Ra
体积1.26 cm3
重量0.9 lb, 0.42 kg
最大入口额定压力3500 psig / 241 barg (AOPHP, I, L, M, S) 125 psig / 8.6 barg (G)
最小入口额定压力真空度
启动压力75 psig (5 barg) 通常压力值
入气口连接尺寸1/8-27 NPT
最高运行温度66 °C, 150 °F
最低运行温度'-40 °C, -40 °F

具体产品

型号与订货号

15 条产品记录。独立型号尚未确认的产品可按订货号查询。

产品名称型号 / 订货号资料
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产品资料

图片、文档与 CAD

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工程资源

样本、CAD 与选型支持

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