
超高纯不锈钢膜片式阀(压力高达300 psig)- 935系列
935 系列膜片式隔膜阀(1/2英寸)设计应用于超高纯气体分流系统。在高流量、低压力的情况下提供理想的气体控制,在这种情况下,高抗漏性和绝对的纯净是关键。
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935 系列膜片式隔膜阀(1/2英寸)设计应用于超高纯气体分流系统。在高流量、低压力的情况下提供理想的气体控制,在这种情况下,高抗漏性和绝对的纯净是关键。

UHP 含氟聚合物超净阀,其材质为PFA(含氟聚合物)或PTFE(聚四氟乙烯),适用于半导体液体环境应用,包括高浓度的酸和碱,明确的化学物质和浆料。

BDV系列是一种“正向复位”隔膜阀,可在半导体制造过程中实现气体和液体分配的精确控制。

700系列,高流量分装阀,旨在用于超高纯度气体分配系统的使用。采用轻量化设计,降低了安装成本,并且其连接接口尺寸可达6英寸。

955Y 系列隔膜阀(Y型阀体)连接两个高流量阀门进入一个紧凑型阀体,简化了吹扫系统到气体分流器的集成过程,同时提高净化系统的有效性

955 系列隔膜阀可以广泛应用于手动气动执行器。此系列阀门具有高稳定性,抗漏性,及洁净度;适用于超高压半导体行业的应用。

945Y 型隔膜阀连接两个阀门到一个单独的紧凑型阀门,简化了吹扫系统进入气箱的系统集成,并且提高了吹扫系统在超高纯半导体行业的应用的有效性。

派克的MAF系列(杯式和双盘式)过滤器提供了工作压力高达15,000 psi系统应用,有效防止颗粒污染物进入系统,保护系统正常运转。这个过滤器采用完整的MPI终端连接接头,实现安全连接。

派克汉尼汾FT系列在线式直通过滤器设计用于保护仪表系统免受不需要的或颗粒材料的影响,在维护时不需要从系统中移除阀门.不可接受的颗粒尺寸下降到1微米和工作压力高达6000psig(414bar).

派克迷你型球阀在线控制气动元件的开关。这种聚合物轻质球阀大大节省了安装时间,同时可满足全流量的要求和紧凑型结构的要求。

派克 Autoclave 的 MVE/MV 迷你型阀门在压力15,000 psi(1,034 bar)的条件下用于实验室和构建安全可靠的操作。

派克适配板系列A10允许差压气缸的节能电路结合各种方向控制和尺寸NG10 / CETOP 05的比例直流阀。