超净应用（UHP）-高压不锈钢隔膜阀-945系列
派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀提供优良的泄漏完整性,高循环寿命,及低的粒子生成,从真空应用到3500 psig压力范围可用.适用于超高压半导体应用,包括高压工艺线、气体控制柜和阀门分配箱系统
阀体材料：VeriClean 316L不锈钢 压缩构件材料：316L 不锈钢 (标准配置) 或哈氏合金 Hastelloy C-22® 隔膜材料：Elgiloy® 或等效材质
产品分类
超净阀门
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PRODUCT SERIES
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超净应用（UHP）-高压大流量不锈钢隔膜阀-17R 系列
派克17R系列不锈钢隔膜阀为高流量散装输送和气体系统提供正向关闭。可选手动或气动，用于超高纯度半导体制造应用。17R系列材料在工作压力达3000 psig下提供耐腐蚀性。可配置流量容量达0.80
阀体材料：VeriClean 316L不锈钢（电解抛光） 阀座类型：PCTFE（标准类型）或聚酰亚胺 阀杆材料：VeriClean 316L不锈钢（钝化）, 铝硅青铜
超净应用（UHP）-高压大流量不锈钢隔膜阀-18R 系列
派克18R系列不锈钢隔膜阀为高流量散装输送和气体系统提供正向关闭。可选手动或气动,1/2或3/8英寸阀体尺寸可选，用于超高纯度半导体制造应用中。可配置的流量容量达1.30 CV.
阀体材料：VeriClean 316L不锈钢（电解抛光） 阀座类型：PCTFE（标准类型）或聚酰亚胺 阀杆材料：VeriClean 316L不锈钢（钝化）, 铝硅青铜
超净应用（UHP）-高流量不锈钢隔膜阀-970系列
派克汉尼汾970系列不锈钢隔膜阀提供高流量，即0.70 CV值，以及优越的防止泄漏完整性，使其非常适合用于超高纯度半导体设备应用，包括气体控制箱、气体控制柜和阀门分配箱系统
超高压水平交叉膜片式阀（压力高达300 psig）- 935A和935T系列
935A 和 935T 系列为1/2"接口，流量通过阀体连接直径为2"的钢管。这个设计可以使垂直单向阀进入横向气体分流系统的集成得到了简化。
超高纯不锈钢膜片式阀（压力高达300 psig）- 935系列
935 系列膜片式隔膜阀（1/2英寸）设计应用于超高纯气体分流系统。在高流量、低压力的情况下提供理想的气体控制，在这种情况下，高抗漏性和绝对的纯净是关键。
阀体材料：非常清洁的316L不锈钢 隔膜材料：316L不锈钢 阀座材料：聚三氟氯乙烯（std），聚酰亚胺树脂
超高纯度大口径隔膜阀 — BDV系列
BDV系列是一种“正向复位”隔膜阀，可在半导体制造过程中实现气体和液体分配的精确控制。
阀体材料：316L Stainless Steel 隔膜材料：316L Stainless Steel 阀座材料：PCTFE (std), Polyimide
超高纯度（UHP）高流量分装阀（压力可高达375 psig） - 700系列
700系列，高流量分装阀，旨在用于超高纯度气体分配系统的使用。采用轻量化设计，降低了安装成本，并且其连接接口尺寸可达6英寸。
超高纯隔膜Y阀 - 手动的或气动的（可达到250 psig真空） - 955Y系列
955Y 系列隔膜阀（Y型阀体）连接两个高流量阀门进入一个紧凑型阀体，简化了吹扫系统到气体分流器的集成过程，同时提高净化系统的有效性
超高纯隔膜阀 - 手动的或气动的（可达到250 psig真空）-955系列
955 系列隔膜阀可以广泛应用于手动气动执行器。此系列阀门具有高稳定性，抗漏性，及洁净度；适用于超高压半导体行业的应用。
超高纯（UHP）高压隔膜Y阀 - 945Y系列
945Y 型隔膜阀连接两个阀门到一个单独的紧凑型阀门，简化了吹扫系统进入气箱的系统集成，并且提高了吹扫系统在超高纯半导体行业的应用的有效性。
高流量，紧凑型隔膜阀 - NV70 系列
NV70 是经济、通用、高流量隔膜阀，非常适合大量的腐蚀性和非腐蚀性流体。
阀体材料：316L 不锈钢 隔膜材料：Elgiloy埃尔吉洛伊非磁性合金，等价 阀座材料：PCTFE聚三氟氯乙烯 (标准), Polyimide聚酰亚胺